在通常真空系统不须用液态便可产生特高真空，真空度可达10-10托（mm·Hg）。 真空油Vacoil-S 通用高真空油 独特优点 • 不须用液氮冷冻 • 产生超高压 • 抗氧化，化学性质稳定 • 暴露空气中不受大气影响 • 抽真空速率快 • 降低回流，避免污染 • 真空液耗量低，经济合算 • 真空系统操作无故障 说明 Vacoil-S是在真空系统中设计用作理想扩散泵液的新型碳硅烷化合物。其化学组成和原子结构决定其具有非常低的蒸汽压和极强的抗氧化性。当使用它作扩散泵液时，不需要用液氮进行额外冷冻便可以产生超高真空。用普通水冷却设置便可以满足要求。此产品抗氧化，无碳和焦油的形成和堵塞现象发生。Vacoil-S具有内在热稳性，因此可暴露于空气中不会分解。在解除真空前不需要对扩散泵进行冷却。 Vacoil真空扩散泵液的性质 液体 | 澄清水白色液体 | 冰点 | -16℃ | 沸点（0.2托） | 225℃ | 蒸汽压（托，20℃） | 1×10-10 | 蒸发热 | （225℃）3K卡/克分子22K卡/克分子 | 回流 | | A）有捕获 | 零 | B）无捕获 | （gm/cm2/min）10-6gm10-6gm |
应用 真空扩散泵液Vacoil替代普通扩散泵液可使真空系统的操作无故障、经济和效率更高。可以达到超高真空度10-10托。可应用Vacoil的类型真空系统包括：真空蒸发器、真空喷镀金属器、真空管排气站、太空模拟室、真空溅射、真空炉、电子束设备、薄膜微电路、光学涂层和其他专业设备等。以Vacoil作扩散泵液，可以大大简化对这些真空系统的操作和管理。使用这种扩散泵液可以避免液氮的使用，且随意暴露在空气中也不会变质。 对于经常启动的真空系统尤其应当推荐使用Vacoil产品。在微电子真空作业和薄膜装置作业中也推荐使用Vacoil产品，因为它可以消除扩散油蒸汽所经常造成的污染。 注释：Vacoil用标准加热器入口加入。设备不需要进行改造。操作温度是225℃到250℃。以流动水用通常方式进行阻流冷却。不需要使用液氮。 | 
